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Janela de safira resistente a arranhões Mohs 9 Equipamento de semicondutores
Especificação do produto
Local de Origem:
Cantão, China
Marca:
ECER Optics
Certificação:
ISO 9001:2015
Número do modelo:
SW-SEM-DURO
Quantidade mínima de pedido:
10 peças
Preço:
USD 8-50 / Piece
Condições de pagamento:
T/T, PayPal, Western Union
Capacidade de fornecimento:
30.000 peças por mês
Detalhes do produto
Destacar:
Janela de safira resistente a arranhões
,Janela de equipamento de semicondutores
,Mohs 9 Dureza Óptica
Product Name:
Janela de safira resistente a arranhões
Application:
Processamento de Bolachas de Semicondutores
Hardness:
Mohs 9
Material:
Safira de cristal único Al2O3
Diameter:
Personalizado 10 mm - 200 mm
Chemical Resistance:
Resistente a ácidos, bases e plasma
Surface Quality:
60-40 Escavação por arranhões
Flatness:
Lambda/4
Descrição do produto
Janela de safira resistente a arranhões Mohs 9 Equipamento de semicondutores
Esta janela de safira resistente a arranhões é construída para mirantes de equipamentos de semicondutores, onde as câmaras de processo expõem as janelas ao plasma, à abrasão de partículas e a produtos químicos agressivos de limpeza.A janela é fabricada de safira de cristal único com dureza de Mohs de 9, segundo apenas ao diamante, o que lhe permite manter uma superfície óptica limpa muito mais do que os mirantes de vidro ou quartzo.
Para ferramentas de processamento de wafer que funcionam continuamente, a janela de safira resistente a arranhões reduz o tempo de inatividade de manutenção e mantém a imagem de inspeção consistente durante a vida útil da câmara.Os ambientes de semicondutores exigem mais do que dureza, razão pela qual esta janela de safira também é especificada para resistência química a ácidos, bases e substâncias químicas plasmáticas, além de estabilidade térmica nas oscilações de temperatura do ciclo de processo.
Cada janela é polida para uma qualidade de superfície de 60-40 raspagens com uma planitude de lambda superior a 4, e os perfis das bordas são moídos e biselados para evitar concentrações de tensão na flange de montagem.Disponíveis diâmetros personalizados de 10 mm a 200 mm e espessuras adaptadas ao vácuo ou pressão atmosférica, e cada remessa inclui certificados de material e registos de inspecção dimensional para qualificação de equipamento.
Especificações técnicas
| Nome do produto | Janela de safira resistente a arranhões |
|---|---|
| Materiais | Sapphire de cristal único Al2O3 |
| Dureza | Mohs 9 |
| Diâmetro | 10 mm - 200 mm sob medida |
| Espessura | 1.0mm - 8.0mm Personalizado |
| Qualidade da superfície | 60-40 Escavação por arranhões |
| Planosidade | Lambda/4 @ 632,8 nm |
| Resistência química | Resistente a ácidos, bases e plasma |
| Aplicação | Processamento de wafers de semicondutores |
| Certificado | Compatível com a RoHS, ISO 9001:2015 |
Principais vantagens
- Dureza de Mohs 9 resistente a arranhões induzidos por partículas e plasma
- A inércia química sobrevive a químicos agressivos de limpeza de câmara
- Manos de estabilidade térmica Ciclos de temperatura do processo sem fractura
- As bordas do solo abobadadas reduzem a concentração de tensão na flange de montagem
- Duração de vida útil reduz a frequência de substituição e o tempo de inatividade do mirante
- Certificados de material de apoio à qualificação dos equipamentos de semicondutores
- Tamanhos personalizados correspondem ao vácuo e visualizações de processos atmosféricos
- Claridade óptica consistente para inspecção das placas através da janela
A janela de safira resistente a arranhões foi projetada em torno das condições reais de funcionamento da fabricação de semicondutores: abertura repetida da câmara, limpeza de plasma e fluxos de partículas abrasivas.Dados de campo de programas de serviço de equipamentos mostram que os mirantes de safira normalmente superam o quartzo em várias vezes em ferramentas de gravação e deposição, o que reduz diretamente o custo de propriedade para os operadores de fábricas.
A janela também é adequada para indústrias adjacentes que compartilham o mesmo perfil de ambiente hostil, incluindo processamento de tela plana, fabricação de células solares e sistemas de revestimento a vácuo.Os engenheiros de projeto recebem orientação de montagem, incluindo as tolerâncias de flange recomendadas e os materiais de vedação, para que a janela de safira resistente a arranhões se integre nos projetos de mirante existentes sem reformulação.
Perguntas e respostas sobre produtos
P: Por que os mirantes de semicondutores precisam de safira em vez de quartzo?
As câmaras de processo geram plasma, partículas e substâncias químicas reativas que rapidamente gravam e arranham os pontos de visão de quartzo, nublando o caminho óptico.O safiro com dureza de Mohs 9 resiste a este dano por ciclos muito mais longos, e a sua inércia química impede a degradação por agentes de limpeza.
P: Que pressões pode suportar a janela?
A classificação de pressão depende do diâmetro, espessura e design de montagem.Fornecemos cálculos de espessura recomendados para as suas condições específicas da câmara.
P: A janela pode ser revestida para anti-reflexão na faixa visível?
Enquanto muitos mirantes de semicondutores usam safira não revestida para máxima robustez, podemos aplicar um revestimento AR durável para comprimentos de onda visíveis de inspeção quando for necessária uma maior transmissão.O revestimento é validado para a exposição ao plasma e às substâncias químicas antes da liberação.
P: Que documentação é fornecida para a qualificação do equipamento?
Cada remessa inclui certificados de material de safira, relatórios de inspecção dimensional, registos de qualidade da superfície e declarações RoHS.Para programas qualificados também podemos fornecer dados de teste de resistência química a nível de lote e resultados de ciclos térmicos.
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